科研設施與平台
從材料生長與器件製備，連接多尺度表徵與光量子測量。
光量子物質全國重點實驗室結合成員研究組的專業實驗系統、香港大學校級共享設施，以及參與團隊的研究平台，支撑光子學、量子材料與器件研究。
微納器件、材料加工與表徵設備
點擊下方深藍色標題，展開或收起主要設備與研究能力。
材料生長與整合 薄膜與晶體生長、二維材料轉移及異質結構組裝
結合材料生長與轉移組裝，為低維量子材料及其器件研究提供樣品與結構製備基礎。
薄膜與晶體生長
- 分子束外延（MBE）
- 化學氣相沉積（CVD）
- 高溫爐與快速熱退火設備
二維材料整合
- 電動及手動材料轉移系統
- 二維材料堆疊與范德瓦爾斯異質結構組裝
二維材料與薄膜製備、異質結構構築，以及後續光學與電學器件研究。
微納加工 光刻、圖案轉移、薄膜沉積與器件製備
結合成員研究組與校級共享加工設施，支撑微納光子結構、超表面及量子材料器件的製備。
光刻與圖案化
- 電子束光刻（EBL）
- 掃描電鏡結合電子束光刻系統
- 直接激光光刻／無掩模曝光系統
- 掩模對準曝光機
刻蝕與微加工
- 離子束刻蝕（IBE）
- 電感耦合等離子體刻蝕（ICP）
- 聚焦離子束（FIB）微加工
薄膜沉積
- 原子層沉積（ALD）
- 電子束蒸發
- 磁控濺射
- 熱蒸發
光子結構與超表面加工、電極製作、薄膜沉積及器件原型製備。
多尺度材料表徵 形貌、晶體結構、元素組成與界面分析
透過電子顯微、掃描探針、X 射線與成分分析等互補手段，研究材料與器件的結構、組成及界面。
顯微與形貌表徵
- 掃描電子顯微鏡（SEM）
- 透射電子顯微鏡（TEM），包括球差校正與環境透射電鏡
- 原子力顯微鏡（AFM）
- 聚焦離子束（FIB）樣品製備
晶體與納米結構
- 單晶 X 射線衍射（SC-XRD）
- 小角與廣角 X 射線散射（SAXS／WAXS）
成分與界面分析
- X 射線光電子能譜（XPS）
- 納米二次離子質譜（NanoSIMS）
- 原子探針斷層分析（APT）
形貌與缺陷觀察、晶體結構分析、元素分佈及材料界面研究。
光學與量子測量 超快光學、光譜分析、納米光學與低溫強磁場測量
結合光譜與顯微分析、超快激光及低溫電學測量，研究材料的光學響應、光與物質相互作用及量子輸運性質。
光譜與光學顯微
- 多光子顯微鏡
- 拉曼光譜顯微鏡
- 穩態與時間分辨光致發光光譜儀
- 紫外–可見–近紅外分光光度計
- 光譜橢圓偏振儀
超快與納米光學
- 飛秒激光器
- 光學參量振盪器（OPO）
- 近場紅外顯微與納米紅外光譜系統
- 掃描電鏡結合光譜分析平台
低溫電學與量子實驗
- 乾式超低溫系統
- 14 T 低溫強磁場測量系統
- 探針台與電學測量儀表
- 量子隨機數發生器
發光與光譜動力學、局域光學響應、器件電學特性及低溫量子輸運。
共享平台與參與團隊
香港科技大學參與團隊
參與團隊的相關資源涵蓋量子器件製備、材料表徵、超低溫高磁場電輸運與量子電容測量，並有液氦供應設施支持低溫實驗。
以上涵蓋成員研究組、校級共享平台及參與團隊的相關資源；各設備的使用安排、培訓與預約要求，請以所屬平台的規定及最新資訊為準。