- 表徵設備:
多光子顯微鏡,拉曼光譜顯微鏡,納米紅外光譜儀,光譜橢圓偏振儀,穩態和時間分辨光緻髮光光譜儀,紫外-可見-近紅外分光光度計,X 射線光電子能譜儀,小角 X 射線散射,單晶 X 射線衍射儀,單晶 X 射線衍射儀,納米級二次離子質譜儀,原子力顯微鏡(2台), 聚焦離子束 (FIB)(2台),掃描電鏡(4台),掃描電鏡結合光譜儀平颱,透射電鏡(4台,包括球差及環境等),原子探針斷層掃描等。
- 納米加工設備:
超高性能電子束光刻(EBL),電子束光刻結合掃描電鏡,直接激光光刻繫統,掩模對準曝光機,離子束蝕刻繫統(IBE),電感耦合等離子體蝕刻 (ICP),原子層沉積 (ALD),電子束蒸髮器(EBE),磁控濺射繫統,熱蒸髮器等。
香港科技大學參與團隊成員具有國際領先的器件製備實驗室、材料表徵平颱、超高遷移率量子器件製備/測量的工藝積累和國際一流的超低溫高磁場電輸運/量子電容測量繫統。其中高磁場設備是目前香港地區能提供的最高配置。同時擁有香港地區唯一液氦工廠,爲本學校低溫物理實驗提供了保障。